一种氢气混合气净化氯硅烷与氯化氢的工艺

         本发明通过两段吸附可将混合气中3％(摩尔比)的氯硅烷与氯化氢的含氯成分控制在0.1mg/Nm3以内，第一段吸附将粗净化气含氯成分控制在90～100mg/Nm3，顺向降压气含氯成分控制在5000～10000mg/Nm3，吸附塔再生采用变温变压吸附工艺，吸附剂加热同时逆向降压、顺向降压气热吹、吸附剂降温同时用第二段顺向降压解吸气冷吹，吸附塔采用原料气升压；第二段净化气的含氯成分控制在0.1mg/Nm3以内，顺向降压气含氯成分控制在90～100mg/Nm3，吸附塔再生采用变压吸附工艺，再生过程包含顺向降压解吸、逆向降压解吸，净化气60KPa吹扫，逆解气与吹扫气直接与一段再生气混合送循环压缩机。